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江苏影速光电技术有限公司

行业领域:先进制造
行政区域:徐州市
参赛届数:第六届
获得奖项:二等奖
企业简介:

    公司成立于2014年8月,落户邳州经济开发区。公司是由中科院微电子研究所联合业内资深技术团队、产业基金共同发起成立的专业微电子装备高科技企业。主要客户群覆盖中电集团十三所、中电集团58所、深南电路等标杆企业。影速光电是中国目前唯一能够制造“半导体纳米级制版曝光设备”的企业,也是中国目前唯一拥有“双台面曝光技术”发明专利的企业。目前基于完全独立自主的知识产权,已成功研制用于半导体领域的激光直写/制版光刻设备、电子束光刻设备成功投放市场实现销售,填补了国内空白。并彻底打破了国外同类进口产品垄断局面。 公司主要经营集成电路及半导体行业生产装备的研发、设计、制造、售后技术服务。主要产品有:亚微米半导体制版光刻设备、PCB激光直接成像设备(LDI)、制版及PCB行业用度量检测设备。产品可广泛应用于集成电路、掩膜版、MEMS器件、高端PCB制造和先进IC封装等领域。公司拥有独立的研发中心、该领域资深的研发团队、自主的知识产权、先进的分析检测设备、完备的中试设备、标准化的洁净车间,并与中科院微电子研究所建立校企联盟关系。 影速公司是国家级高新技术企业、江苏省民营科技企业,于2017年2月通过ISO9001质量体系认证。公司自2016年起承担江苏省战略性新兴产业发展专项项目——高速双台面激光直接成像设备(LDI)研发及产业化项目。同年公司研发的“Q7500型高速双台面激光直接成像曝光设备(LDI)”于2016年被认定为“江苏省首台(套)重大技术装备”。科研开发队伍由国内外顶尖资深工程师组成,其核心成员26人,其中千人计划专家3人。 公司目前共申请专利56项,授权专利38项,其中授权发明专利9项,拥有软件著作权3项。公司拥有中国该领域最多的自主发明专利和专项技术,突破了国外的技术垄断和封锁,部分产品填补国内空白,是中国高端半导体制版光刻机的唯一生产商。

 

项目简介:

    本项目为激光直接成像设备的研发及产业化,主要用于制作集成线路板(PCB)以及高密度互联(HDI)印刷线路板,是集成电路生产的基础、核心、关键装备。工艺设计是目前国际最先进的上下双台面设备,结构设计简单稳定、对准快速、显著提高设备产能。公司基于单工件台曝光技术系统的基础上,引入双工件台概念,优化曝光系统,提高工作效率,优化后设备产能增加 80~90%。实现了每天 7000片产能指标,是目前世界上同类产品中产能最高的设备。同时,为加快推进项目产品产业化,公司组建 LDI 项目研发队伍、集聚该领域经验丰富、专业覆盖面广的研发人才、配备先进的分析检测设备、完备的中试设备及万亿级的生产洁净间,并通过专业化的流程管理来控制产品质量。同时有中科院微电子所的技术支持,产品的客户端测试,并根据测试结果优化技术等。